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單晶圓/掩模版兆聲清洗機
SWC系列/LSC系列兆聲清洗機
產品型號:SWC系列/LSC系列
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兆聲清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕。該系統配套機械手,也可以升級為多系統的集成架構。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
SWC系列/LSC系列硅片清洗機
產品型號:SWC系列/LSC系列
查看詳細介紹
硅片清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
SWC系列/LSC系列進口晶圓清洗機
產品型號:SWC系列/LSC系列
查看詳細介紹
進口晶圓清洗機:Nano-Master進口兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
SWC-3000兆聲晶圓(掩模版)清洗機
產品型號:
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SWC-3000兆聲晶圓(掩模版)清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
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