NANO-MASTER（那諾-馬斯特）Platens樣品臺，又稱為基板或加熱板，是真空鍍膜設備中常用到關鍵部件。因此樣品臺可以整合到RIE刻蝕、ICP刻蝕、PECVD、ALD等刻蝕和沉積設備中，給晶圓等樣片進行均勻加熱和冷卻處理，為微納米薄膜工藝提供精確的溫度環境。