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產品名稱：金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備
產品型號：
產品報價：
產品特點：金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備：針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助（PA-MOCVD）,該系統具有5個鼓泡裝置（各帶獨立的冷卻槽）、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵（5 x 10-7Torr極限真空）、PC全自動控制。
概述：
NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制，*的安全互鎖。
目前，這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統，該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。
金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備應用：
金屬有機化學氣相沉積系統MOVPE設備特點：
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