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      • 產品名稱:NEE-4000(M)電子束蒸發系統

        產品型號:

        產品報價:

        產品特點:NEE-4000(M)電子束蒸發系統:NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩個腔體之間的門閥可以作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預真空鎖實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

        NEE-4000(M)電子束蒸發系統的詳細資料:

        電子束蒸發技術

        NEE-4000(M)電子束蒸發系統概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,他可以通過第三方的預真空鎖來實現,這可以設置于立方體的左側。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

        NEE-4000(M)電子束蒸發系統特點:

        • 順序蒸發或共蒸發
        • 雙電子束源
        • 多凹槽電子槍
        • 可編程電子束掃描
        • 10KW開關電源
        • 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
        • 手動上下載片,帶預真空鎖
        • 材料和襯墊更換非常方便
        • 晶振式膜厚監測儀
        • 通過LabView軟件實現PC計算機控制
        • 菜單驅動,四級訪問密碼保護
        • *的安全聯鎖

        產品型號:

        • NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
        • NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統

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